SC2020晶體管參數(shù)測試系統(tǒng)
SC2020晶體管參數(shù)測試系統(tǒng)系統(tǒng)概述
SC2020晶體管參數(shù)測試系統(tǒng)是我司自主研發(fā)的半導(dǎo)體分立器件電學(xué)參數(shù)測試的專用設(shè)備，主要用于半導(dǎo)體器件生產(chǎn)廠家進行圓片中測或封裝成測，各類整機廠家、科研院所的質(zhì)量檢測部門IQC進行來料檢驗，研發(fā)部門進行失效分析、選型配對、可靠性分析測試。
系統(tǒng)為桌面放置的臺式機結(jié)構(gòu)，由測試主機和程控電腦兩大部分組成。外掛各類夾具和適配器，還能夠通過Prober接口、Handler接口可選（16Bin）連接分選機和機械手建立工作站，實現(xiàn)快速批量化測試。通過軟件設(shè)置可依照被測器件的參數(shù)等級進行自動分類存放。能夠極好的應(yīng)對“來料檢驗 ”“失效分析 ”“選型配對 ”“量產(chǎn)測試 ”等不同應(yīng)用場景。
系統(tǒng)軟件基于Labview平臺開發(fā)，填充式菜單界面，帶自動糾錯功能，可進行器件參數(shù)的分檔、分類編程，并可實時顯示和記錄分檔、分類測試結(jié)果，測試結(jié)果和統(tǒng)計結(jié)果均可以EXCEL格式存貯于計算機中，根據(jù)需要可以打印輸出。
SC2020晶體管參數(shù)測試系統(tǒng)系統(tǒng)特點
◆ 系統(tǒng)采用大規(guī)模32位ARM&MCU設(shè)計
◆ 可測試7大類26分類的電子元器件
◆ 程控高壓源1400V，提供2000V選配
◆ 程控高流源40A，提供100A,200A,500A 選配
◆ 控制極電壓可達40V，電流可達100mA
◆ 系統(tǒng)數(shù)據(jù)采集采用16位ADC，1M/S采樣速率
◆ 測試漏流分辨率達1.5pA
◆ 四線開爾文連接保證加載測量的準(zhǔn)確
◆ Prober接口、Handler接口可選（16Bin）
◆ 連接分選機可達測試量為每小時1萬個
◆ 可為用戶提供豐富的測試適配器
◆ 可選配測試結(jié)電容，諸如Ciss，Crss，Coss；
◆ 系統(tǒng)符合《GJB128半導(dǎo)體分立器件試驗方法》等相應(yīng)的國軍標(biāo)及國際標(biāo)準(zhǔn)。
SC2020晶體管參數(shù)測試系統(tǒng)系統(tǒng)指標(biāo)
?技術(shù)指標(biāo)
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系統(tǒng)功能模塊
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量程
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分辨率
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精度
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低壓源（FV）
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0～±40V
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1uV
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±0.1%
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低流源（FI）
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0～±100mA
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1pA
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±0.1%
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高壓源（HVS）
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0～±1400V/2000V
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1mV
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±0.5%
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高流源（HIS）
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0～±40A/100A/200A/500A
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1uA
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±1%
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電壓測量(MV)
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0～±1400V/2000V
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1uV
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±0.1%
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電流測量(MI)
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0～±40A/100A/200A/500A
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1pA
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±0.1%
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?測試能力
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器件種類
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測試參數(shù)
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二極管類
(含TVS SBD ZENER整流橋)
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BVR、IR、VF、VZ、RZ、ZZ、Vrrm、Irrm、Tr（選配）
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三極管
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BVCBO、BVCEO、BVCES、BVEBO、HFE、ICBO、ICEO、ICES、IEBO、VBESAT、VCESAT、VBE、選配（Ciss、Coss、Crss）
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可控硅/雙向可控硅
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IGT、VGT、VTM、VDRM、VRRM、IH、IL、IDRM、IRRM
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場效應(yīng)管
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VGSTH、IDSS、BVDSS、VDSON、IGSS、VSD、VGSON、IDON、RDSON、GFS、選配（Ciss、Coss、Crss）
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IGBT
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BVCES、BVGES、ICES、IGES、VCESAT、VGETH、VCEON、VGEON、VF、ICON、選配（Ciss、Coss、Crss）
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壓敏電阻
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VRRM、VDRM、IRRM、IDRM、Cka
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光耦
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VF、IR、BVCEO、VF、IR、BVCEO、BVECO、ICEO、CTR、VCESAT、
選配（Tr、Tf）
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三/四端穩(wěn)壓器
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Vout、Iin、IB、VD、Max_lo、Ro
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繼電器
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Vf、Ir、Vl、Il、Ift、Ron、選配（Ton、Toff）
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功率驅(qū)動器、
高邊功率開關(guān)
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Vbb(AZ)、Von(CL)、Rson、Ibb(off)、Il(lim)、Coss、Fun_pin_volt、lvs(off)、lvs(on)、Rson_h、Rson_l、lin、Iinh、ls_Volt、Sr_volt
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電壓保護器
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Vrrm、Vdrm、Irrm、Idrm、Cka、△Vr
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基準(zhǔn)IC模塊
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Vref、 △Vref、lref、Imin、loff、Zka、Vka
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傳感監(jiān)測類
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電流傳感器（ACS712XX系列、CSNR_15XX系列）（選配）；
霍爾器件（MT44XX系列、A12XX系列）（選配）；
電壓監(jiān)控器（選配）；電壓復(fù)位IC（選配）；
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SC2020晶體管參數(shù)測試系統(tǒng)測試原理
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1）閾值電壓測試電路
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2）集射極截止電壓/集射極截止電流測試電路
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3）IGBT 飽和壓降/FRD 正向?qū)▔航禍y試電路
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4）柵極漏電流測試電路
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