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13286885940 (王先生)
13262995105（吳先生）
13916985299 (姚小姐）
聯訊儀器S3030F是結構緊湊、經濟高效的單通道高電壓、高功率電源/測量單元，能夠同時輸出和測量電壓和電流， 能夠提供*大±3500V、±120mA（直流）、10 GΩ、180W功率輸出，能廣泛地應用在功率半導體特性，GaN、SiC表征，復合材料，高壓漏電流等測試和研究領域。S3030F支持傳統的SMU SCPI命令，讓測試代碼的遷移變得輕松快捷， 可支持多機同步，集成到生產測試系統中使用，以提高系統的測試效率并降低成本。
S3030F高壓型高精度源表SMU電壓源指標：
電壓設置精度
量程
設置分辨率
精度(1年)
±(%讀數+ 偏置)
典型噪聲(有效值)
0.1 Hz-10Hz
±3500 V
40 mV
0.02%+600 mV
50 mV
±2500 V
30 mV
0.02%+450 mV
±1500 V
20 mV
0.02%+300 mV
25 mV
±600 V
7mV
0.02%+120 mV
10 mV
±200 V
3mV
0.02%+40 mV
3 mV
溫度系數
±(0.15 × 精度指標)/°C (0℃-18℃,28℃-50℃)
設置時間
<5 mS (典型值)
過沖
<±1% (典型值，Normal,步進是范圍的 10% 至 90%，滿量程點，電阻性負載測試)
噪聲10Hz-20MHz
1500V電壓源，120 mA電阻負載，<200mV RMS
S3030F高壓型高精度源表SMU電流源指標：
電流設置精度
±(% 讀數+偏置)
典型噪聲(有效值)0.1Hz-10Hz
±120 mA1
3 uA
0.02% + 35 μA
120 uA
±20 mA
400 nA
0.02% + 15 μA
20 uA
±10 mA
200 nA
0.02% + 3 uA
10 uA
±1 mA
20 nA
0.02% + 300 nA
1 uA
±100 μA
2 nA
0.02% + 30 nA
100 nA
±10 μA
200 pA
0.03% + 5 nA
10 nA
±1 μA
20 pA
0.03% + 1 nA
1 nA
±100 nA
2 pA
0.2% +100 pA+Vo x 100 fA
100 pA
±10 nA
200 fA
0.2% + 10 pA+ Vo x 10 fA
10 pA
±1 nA
20 fA
0.2% + 5 pA+ Vo x 1 fA
1 pA
<10 ms (典型值)
1，120mA量程僅支持1500V及以下電壓量程
S3030F高壓型高精度源表SMU電壓表指標：
電壓測量精度
顯示分辨率
精度(1年)±(%讀數+偏置)
1 mV
1mV
100 uV
S3030F高壓型高精度源表SMU電流表指標：
電流測量精度
精度(1年) ±(% 讀數+偏置)
100 fA
10 fA
1 fA
S3030F高壓型高精度源表SMU電阻表指標(4線)
電阻測量精度
默認測量電流
典型精度(1年)
±(%讀數+偏置)
100 Ω
100 μΩ
100 mA
0.075% + 400 mΩ
1 kΩ
1 mΩ
10 mA
0.07% + 4 Ω
10 kΩ
10 mΩ
1 mA
0.07% + 40 Ω
100 kΩ
100 mΩ
100 μA
0.07% + 400 Ω
1 MΩ
1 Ω
10 μA
0.10% + 4 kΩ
10 MΩ
10 Ω
1 μA
0.15% + 40 kΩ
100 MΩ
0.32% + 400 kΩ
1 GΩ
1 KΩ
0.32% + 4 MΩ
10 GΩ
10 KΩ
0.72% + 40 MΩ
±(0.15 × 精度指標)/℃ (0℃-18℃，28℃-50℃)
手動電流源電阻測量
(四線)
總體誤差=測量電壓/電流源設定電流=電阻讀數x(電壓源量程的增益誤差百分比+電流表量程的增益誤差百分比+電流源量程偏置誤差/設定電流)+(電壓源量程偏置誤差/設定電流值)
示例：電流源設定電流=10mA 電壓測量量程=200V
總體誤差=(0.02%+0.02%+3μA/10mA)+(40mV/10mA)
≈0.07%+4Ω
注：測量電壓=默認測量電流*被測電阻值≤10.5V
滬公網安備 31010102004821號
